腐蚀作用是各向异性的；缺点是对表面损伤大，粗糙度 附着力 表面能产生热效应大，对清洗后表面的各种物质选择性差，腐蚀速率低。基于化学反应的等离子体清洗的优点是清洗速度快、选择性好、能有效去除有机污染物，缺点是表面会产生氧化物。与物理反应相比，化学反应的缺点不易克服。而且，两种反应机理对表面微观形貌的影
